הקדמה צו לאַזער גאַלוואַנאָמעטער

לאַזער סקאַנער, אויך גערופן לאַזער גאַלוואַנאָמעטער, באשטייט פון XY אָפּטיש סקאַנינג קאָפּ, עלעקטראָניש פאָר אַמפּלאַפייער און אָפּטיש אָפּשפּיגלונג אָביעקטיוו.דער סיגנאַל צוגעשטעלט דורך די קאָמפּיוטער קאָנטראָללער דרייווז די אָפּטיש סקאַנינג קאָפּ דורך די דרייווינג אַמפּלאַפייער קרייַז, דערמיט קאַנטראָולינג די דעפלעקטיאָן פון די לאַזער שטראַל אין די XY פלאַך.פשוט גערעדט, די גאַלוואַנאָמעטער איז אַ סקאַנינג גאַלוואַנאָמעטער געניצט אין די לאַזער אינדוסטריע.זיין פאַכמאַן טערמין איז גערופֿן הויך-גיכקייַט סקאַנינג גאַלוואַנאָמעטער גאַלוואָ סקאַנינג סיסטעם.דער אַזוי גערופענער גאַלוואַנאָמעטער קען אויך זיין גערופן אַן אַממעטער.זייַן פּלאַן געדאַנק גאָר גייט די פּלאַן אופֿן פון אַן אַממעטער.די אָביעקטיוו ריפּלייסיז די נאָדל, און דער סיגנאַל פון די זאָנד איז ריפּלייסט דורך אַ קאָמפּיוטער-קאַנטראָולד -5V-5V אָדער -10V-+10V DC סיגנאַל., צו פאַרענדיקן די פּרידיטערמינד קאַמף.ווי די ראָוטייטינג שפּיגל סקאַנינג סיסטעם, דעם טיפּיש קאָנטראָל סיסטעם ניצט אַ פּאָר פון ריטראַקטינג מירערז.דער חילוק איז אַז די סטעפּער מאָטאָר וואָס דרייווז דעם גאַנג פון לענסעס איז ריפּלייסט דורך אַ סערוואָ מאָטאָר.אין דעם קאָנטראָל סיסטעם, אַ שטעלע סענסער איז געניצט. דער פּלאַן געדאַנק פון און נעגאַטיוו באַמערקונגען שלייף ינשורז ווייַטער די אַקיעראַסי פון די סיסטעם, און די סקאַנינג גיכקייַט און ריפּיטיד פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פון די גאנצע סיסטעם דערגרייכן אַ נייַע מדרגה.די גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג מאַרקינג קאָפּ איז דער הויפּט קאַמפּאָוזד פון XY סקאַנינג שפּיגל, פעלד אָביעקטיוו, גאַלוואַנאָמעטער און קאָמפּיוטער-קאַנטראָולד מאַרקינג ווייכווארג.אויסקלייַבן קאָראַספּאַנדינג אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ לויט צו פאַרשידענע לאַזער ווייוולענגטס.פֿאַרבונדענע אָפּציעס אויך אַרייַננעמען לאַזער שטראַל יקספּאַנדערז, לייזערז, אאז"ו ו. אין די לאַזער דעמאַנסטריישאַן סיסטעם, די וואַוועפאָרם פון אָפּטיש סקאַנינג איז אַ וועקטאָר יבערקוקן, און די סקאַנינג גיכקייַט פון די סיסטעם דיטערמאַנז די פעסטקייַט פון די לאַזער מוסטער.אין די לעצטע יאָרן, הויך-גיכקייַט סקאַנערז זענען דעוועלאָפּעד, מיט סקאַנינג ספּידז ריטשט 45,000 פונקטן / סעקונדע, וואָס מאכט עס מעגלעך צו באַווייַזן קאָמפּלעקס לאַזער אַנאַמיישאַנז.

5.1 לאַזער גאַלוואַנאָמעטער וועלדינג שלאָס

5.1.1 דעפֿיניציע און זאַץ פון גאַלוואַנאָמעטער וועלדינג שלאָס:

די קאָללימאַטיאָן פאָוקיסינג קאָפּ ניצט אַ מעטשאַניקאַל מיטל ווי אַ סופּפּאָרטינג פּלאַטפאָרמע.די מעטשאַניקאַל מיטל מאָוועס צוריק און צוריק צו דערגרייכן וועלדינג פון פאַרשידענע טרייַעקטאָריע וועלדז.די וועלדינג אַקיעראַסי דעפּענדס אויף די אַקיעראַסי פון די אַקטואַטאָר, אַזוי עס זענען פּראָבלעמס אַזאַ ווי נידעריק אַקיעראַסי, פּאַמעלעך ענטפער גיכקייַט און גרויס ינערשאַ.די גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג סיסטעם ניצט אַ מאָטאָר צו פירן די אָביעקטיוו פֿאַר דעפלעקטיאָן.דער מאָטאָר איז געטריבן דורך אַ זיכער קראַנט און האט די אַדוואַנטידזשיז פון הויך פּינטלעכקייַט, קליין ינערשאַ און שנעל ענטפער.ווען דער שטראַל איז באלויכטן אויף די גאַלוואַנאָמעטער אָביעקטיוו, די דעפלעקטיאָן פון די גאַלוואַנאָמעטער ענדערונגען די לאַזער שטראַל.דעריבער, די לאַזער שטראַל קענען יבערקוקן קיין טרייַעקטאָריע אין די סקאַנינג פעלד פון מיינונג דורך די גאַלוואַנאָמעטער סיסטעם.

די הויפּט קאַמפּאָונאַנץ פון די גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג סיסטעם זענען שטראַל יקספּאַנשאַן קאָללימאַטאָר, פאָוקיסינג אָביעקטיוו, XY צוויי-אַקס סקאַנינג גאַלוואַנאָמעטער, קאָנטראָל ברעט און באַלעבאָס קאָמפּיוטער ווייכווארג סיסטעם.די סקאַנינג גאַלוואַנאָמעטער רעפערס דער הויפּט צו די צוויי XY גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג קעפ, וואָס זענען געטריבן דורך הויך-גיכקייַט ריסיפּראָקייטינג סערוואָ מאָטאָרס.די צווייענדיק-אַקס סערוואָ סיסטעם דרייווז די XY צווייענדיק-אַקס סקאַנינג גאַלוואַנאָמעטער צו אָפּנייגן צוזאמען די X-אַקס און Y-אַקס ריספּעקטיוולי דורך שיקן באַפֿעל סיגנאַלז צו די X און Y-אַקס סערוואָ מאָטאָרס.אין דעם וועג, דורך די קאַמביינד באַוועגונג פון די XY צוויי-אַקס שפּיגל אָביעקטיוו, די קאָנטראָל סיסטעם קענען בייַטן די סיגנאַל דורך די גאַלוואַנאָמעטער ברעט לויט די פּריסעט גראַפיק מוסטער פון דער באַלעבאָס קאָמפּיוטער ווייכווארג לויט די באַשטימט וועג, און געשווינד מאַך אויף די. וואָרקפּיעסע פלאַך צו פאָרעם אַ סקאַנינג טרייַעקטאָריע.

5.1.2 קלאַסאַפאַקיישאַן פון גאַלוואַנאָמעטער וועלדינג דזשוינץ:

1. פראָנט פאָוקיסינג סקאַנינג אָביעקטיוו

לויט די פּאָסיטיאָנאַל שייכות צווישן די פאָוקיסינג אָביעקטיוו און די לאַזער גאַלוואַנאָמעטער, די סקאַנינג מאָדע פון ​​​​די גאַלוואַנאָמעטער קענען זיין צעטיילט אין פראָנט פאָוקיסינג סקאַנינג (פיגורע 1 אונטן) און דערציען פאָוקיסינג פאָוקיסינג סקאַנינג (פיגורע 2 אונטן).רעכט צו דער עקזיסטענץ פון אָפּטיש וועג חילוק ווען די לאַזער שטראַל איז דעפלעקטעד צו פאַרשידענע שטעלעס (די שטראַל טראַנסמיסיע דיסטאַנסע איז אַנדערש), די לאַזער פאָקאַל ייבערפלאַך בעשאַס די פריערדיקע פאָוקיסינג מאָדע סקאַנינג פּראָצעס איז אַ העמיספעריקאַל ייבערפלאַך, ווי געוויזן אין די לינקס פיגור.די פּאָסטן-פאָקוס סקאַנינג אופֿן איז געוויזן אין די בילד אויף די רעכט.די אָביעקטיוו אָביעקטיוו איז אַ F-פּלאַן אָביעקטיוו.דער F-פּלאַן שפּיגל האט אַ ספּעציעל אָפּטיש פּלאַן.דורך ינטראָודוסינג אָפּטיש קערעקשאַן, די העמיספעריקאַל פאָקאַל ייבערפלאַך פון די לאַזער שטראַל קענען זיין אַדזשאַסטיד צו פלאַך.פּאָסט-פאָקוס סקאַנינג איז דער הויפּט פּאַסיק פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן הויך פּראַסעסינג אַקיעראַסי און אַ קליין פּראַסעסינג קייט, אַזאַ ווי לאַזער מאַרקינג, לאַזער מיקראָסטרוקטורע וועלדינג, עטק.

2.דערציען פאָוקיסינג סקאַנינג אָביעקטיוו

ווען די סקאַנינג געגנט ינקריסיז, די עפענונג פון די f-טהעטאַ אָביעקטיוו אויך ינקריסיז.רעכט צו טעכניש און מאַטעריאַל לימיטיישאַנז, גרויס עפענונג F-טהעטאַ לענסעס זענען זייער טייַער און די לייזונג איז נישט אנגענומען.די אָביעקטיוו אָביעקטיוו אָביעקטיוו פראָנט גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג סיסטעם קאַמביינד מיט די זעקס-אַקס ראָבאָט איז אַ לעפיערעך פיזאַבאַל לייזונג, וואָס קענען רעדוצירן די אָפענגיקייַט אויף די גאַלוואַנאָמעטער ויסריכט, האט אַ היפּש גראַד פון סיסטעם אַקיעראַסי און האט גוט קאַמפּאַטאַבילאַטי.דעם לייזונג איז אנגענומען דורך רובֿ ינטאַגרייטערז.אַדאַפּט, אָפט ריפערד צו ווי פלי וועלדינג.די וועלדינג פון מאָדולע בוסבאַר, אַרייַנגערעכנט פלאָקן רייניקונג, האט פלי אַפּלאַקיישאַנז, וואָס קענען פאַרגרעסערן די פּראַסעסינג ברייט פלעקסאַבאַל און יפישאַנטלי.

3.3 ד גאַלוואַנאָמעטער:

ניט ריכטיק צי עס איז פראָנט-פאָוקיסט סקאַנינג אָדער דערציען-פאָוקיסט סקאַנינג, די פאָקוס פון די לאַזער שטראַל קענען ניט זיין קאַנטראָולד פֿאַר דינאַמיש פאָוקיסינג.פֿאַר די פראָנט פאָקוס סקאַנינג מאָדע, ווען די וואָרקפּיעסע צו זיין פּראַסעסט איז קליין, די פאָוקיסינג אָביעקטיוו האט אַ זיכער פאָקאַל טיף קייט, אַזוי עס קענען דורכפירן פאָוקיסט סקאַנינג מיט אַ קליין פֿאָרמאַט.אָבער, ווען די פלאַך צו זיין סקאַנד איז גרויס, די פונקטן לעבן די פּעריפעריע וועט זיין אויס פון פאָקוס און קענען ניט זיין פאָוקיסט אויף די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע צו זיין פּראַסעסט ווייַל עס יקסידז די טיפקייַט קייט פון די לאַזער פאָקוס.דעריבער, ווען די לאַזער שטראַל איז פארלאנגט צו זיין געזונט פאָוקיסט אין קיין שטעלע אויף די סקאַנינג פלאַך און די פעלד פון מיינונג איז גרויס, די נוצן פון אַ פאַרפעסטיקט פאָקאַל לענג אָביעקטיוו קענען נישט טרעפן די סקאַנינג רעקווירעמענץ.די דינאַמיש פאָוקיסינג סיסטעם איז אַ גאַנג פון אָפּטיש סיסטעמען וועמענס פאָקאַל לענג קענען טוישן ווי דארף.דעריבער, ריסערטשערז פאָרשלאָגן צו נוצן אַ דינאַמיש פאָוקיסינג אָביעקטיוו צו פאַרגיטיקן פֿאַר די אָפּטיש וועג חילוק, און נוצן אַ קאָנקאַווע אָביעקטיוו (שטראַל יקספּאַנדער) צו מאַך לינעאַרלי צוזאמען די אָפּטיש אַקס צו קאָנטראָלירן די פאָקוס שטעלע און דערגרייכן די ייבערפלאַך צו זיין פּראַסעסט דינאַמיקאַללי קאַמפּאַנסייץ פֿאַר די אָפּטיש. דרך חילוק אין פאַרשידענע שטעלעס.קאַמפּערד מיט די 2 ד גאַלוואַנאָמעטער, דער זאַץ פון די 3 ד גאַלוואַנאָמעטער דער הויפּט מוסיף אַ "ז-אַקס אָפּטיש סיסטעם", אַזוי אַז די 3 ד גאַלוואַנאָמעטער קענען פרילי טוישן די פאָקוס שטעלע בעשאַס די וועלדינג פּראָצעס און דורכפירן ספּיישאַל קערווד ייבערפלאַך וועלדינג, אָן די נויט צו טוישן די טרעגער אַזאַ ווי אַ מאַשין געצייַג, אאז"ו ו ווי די 2 ד גאַלוואַנאָמעטער.די הייך פון די ראָבאָט איז געניצט צו סטרויערן די וועלדינג פאָקוס שטעלע.