דעטאַלירטע צוזאַמענפאַסונג פון פליענדיקע לאַזער וועַלדינג קעפּ

דעטאַלירטע צוזאַמענפאַסונג פוןפליענדיקע לאַזער וועַלדינג קעפּ

עס דעקט קאָמפּאָנענט נעמען, דעפֿיניציעס, פּרינציפּן, פּלאַן פּאַראַמעטערס און פֿאָרמולע קאַלקולאַציעס, און איז אָנווענדלעך צוהויך-גיכקייט סקאַנינג וועַלדינג(אַזאַ ווי גאַלוואַנאָמעטער סיסטעמען) אָדער ווייַט וועַלדינג אַפּלאַקיישאַנז.

1. צוזאמענשטעלונג און דעפיניציע פון ​​פליענדיקע וועלדינג לייזער וועלדינג קעפ

פליענדיקע וועַלדינג (סקאַנינג לאַזער וועַלדינג) רעאַליזירט דינאַמיש פאָקוסינג דורך הויך-גיכקייַט גאַלוואַנאָמעטער רעפלעקטינג לאַזער שטראַלן, און איז פּאַסיק פֿאַר גרויס-שטח אוןהויך-גיכקייט שווייסאירע הויפּט קאָמפּאָנענטן זענען ווי פאלגנד:

1. שטראַל קאָלימאַציע מאָדול

קאָלימאַטאָר

פונקציע: פארוואנדלען דעם דיווערדזשענט לייזער (NA=0.1~0.22) וואס ווערט ארויסגעגעבן דורך דעם אפטישן פיבער אין א פאראלעלן שטראל.

שליסל פּאַראַמעטערס: פאָקאַל לענג fcoll, קאָלימאַטעד שטראַל דיאַמעטער Dcoll.

פאָרמולע:

1.2 גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג סיסטעם

X/Y-אַקס גאַלוואָ שפּיגלען

פונקציע: ענדערן די ריכטונג פון די ליכט שטראַל דורך הויך-גיכקייַט ראָטייטינג שפּיגלען צו דערגרייכן צוויי-דימענשאַנאַל פלאַך סקאַנינג.

שליסל פאראמעטערס: סקענען גיכקייט (געווענליך ≥10m/s), איבערחזרן פאזיציאנירונג גענויקייט (<±5μrad), שפיגל גרייס (דארף דעקן דעם שטראל דיאמעטער Dcoll).

גאַלוואַנאָמעטער מאָטאָר: סערוואָ מאָטאָר אָדער גאַלוואַנאָמעטער מאָטאָר מיט אַ רעאַקציע צייט פון <1ms.

1.3 דינאַמיש פאָקוסינג מאָדול (F-טהעטאַ לענס אָדער גאַלוואַנאָמעטער + פלאַך-פעלד לענס)

עף-טעטאַ לינז

פונקציע: פארוואנדלען דעם אפבייגונג ווינקל פונעם גאַלוואַנאָמעטער אין א לינעאַרע פארשייבונג אויפן פלאך כדי צו אויפהאלטן די פאָקוס קאָנסיסטענסי.

שליסל פֿאָרמולעס:

2. ארבעטס־פּרינציפּ

שטראַל וועג: לאַזער → קאָלימאַטאָר → X גאַלוואַנאָמעטער → Y גאַלוואַנאָמעטער → F-טהעטאַ לינז → וואָרקפּיס ייבערפלאַך.

דינאַמיש פאָקוסינג:

ווען דער גאַלוואַנאָמעטער דיפלעקשאַן ווינקל איז θ, ווערט די פאָקוס פּאָזיציע (x, y) קאָנווערטירט דורך דער F-טהעטאַ לינז ווי:

3. שליסל פּלאַן פּאַראַמעטערס און פאָרמולאַס

3.1 פונקציע גרייס קאַלקולאַציע

פאָקוסירטער פלעק דיאַמעטער d (דיפראַקציע לימיט):

3.2 סקענירן ראַנגע און גאַלוואַנאָמעטער ווינקל

מאַקסימום סקאַנינג קייט L:

3.3 שווייס גיכקייט און אַקסעלעראַציע

לינעאַרע גיכקייט v

3.4 טיפקייט פון פאָקוס (DOF)

3.5 מאַכט געדיכטקייט און ענערגיע אַרייַנגאַנג

מאַכט געדיכטקייט איך:

ענערגיע געדיכטקייט E (פולס וועַלדינג):

4. אַבעראַציעס און אָפּטימיזאַציע פּלאַן

4.1 עף-טעטאַ לינז אַבעריישאַן קאָרעקציע

דיסטאָרשאַן: עס דאַרף באַפרידיקן r∝θ, און די ניט-לינעאַרע דיסטאָרשאַן זאָל זיין <0.1%.

פעלד קרומקייט: דיזיינירן א פלאַך פעלד דורך מולטי-לינז גרופּעס.

4.2 גאַלוואַנאָמעטער סינקראָניזאַציע טעות

די X/Y גאַלוואַנאָמעטער פאַרהאַלטונג זאָל זיין <1μs צו ויסמיידן עלליפּטישע פלעקן.

5. ביישפּיל פון דיזיין פּראָצעס

אינפוט רעקווייערמענץ: סקענירן ראיאן L, פלעק גרייס d, שווייס גיכקייט v. אויסקלויבן F-Theta לינז: באשטימען fθ לויט L=2fθtan(θmax).

רעכנט אויס גאַלוואַנאָמעטער פּאַראַמעטערס: ווינקל גיכקייט ω=v/fθ, און וועריפיצירט די גאַלוואַנאָמעטער פאָרשטעלונג.

באַשטעטיקן ספּאָט קוואַליטעט: אָפּטימיזירן לינז גרופּע אַבעריישאַנז דורך זעמאַקס/אָפּטיקסטודיאָ.

6. פאָרזיכטיגקייטן

טערמישע פאַרוואַלטונג: גאַלוואַנאָמעטערס און לענסעס דאַרפֿן וואַסער קילונג ביי הויך מאַכט (אַזאַ ווי >1kW).

אַנטי-קאליזיע שוץ: גאַלוואַנאָמעטערס דאַרפֿן נויטפאַל ברעיקינג צו ויסמיידן מעכאַנישע קאָליזיע.

קאַליבראַציע: רעגולער קאַליברירן די אָפּטישע דרך קאָאַקסיאַליטי (דעווייישאַן <0.05 מם).